產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
四探針電阻率又名方塊電阻測試儀，主要用于測量電阻率及方塊電阻（只測量非金屬薄膜，避免設備污染）。提供自動(dòng)計算機量測的四點(diǎn)探針阻值量測機臺?？焖?，jing確與軟件控制下針、軟件功能可化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動(dòng)清針(Probe Conditioning);動(dòng)作，雙針頭切換能使用可支持自動(dòng)Loader，300mm 機臺可使用Front End，zui多擴充3個(gè)量測單元，支持Semi標準接口。
詳情介紹：
CDEResMap四探針電阻率/方塊電阻測試儀
一、四探針電阻率產(chǎn)品介紹
四探針電阻率又名方塊電阻測試儀，主要用于測量電阻率及方塊電阻（只測量非金屬薄膜，避免設備污染）。提供自動(dòng)計算機量測的四點(diǎn)探針阻值量測機臺?？焖?，jing確與軟件控制下針、軟件功能可化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動(dòng)清針(Probe Conditioning);動(dòng)作，雙針頭切換能使用可支持自動(dòng)Loader，300mm 機臺可使用Front End，zui多擴充3個(gè)量測單元，支持Semi標準接口。
二、四探針電阻率技術(shù)參數
1薄膜電阻測量范圍: 10-5Ω.cm~105Ω.cm
2方塊電阻測量范圍:10-3Ω/□至106Ω/□
3晶片直徑: 50至200mm,可測量不規則硅片
4具有2D、3D Mapping的數據分析功能。
5具有測試數據自動(dòng)導出功能。
三、四探針電阻率典型應用
1非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量；
2選擇性發(fā)射極擴散片；
3表面鈍化片；
4交叉指樣PN結擴散片；
5電極設計，如電鍍銅電阻測量等
